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第188章 极紫外光源研制成功了

想要制作更好的的芯片,那就得造出更好的光源,比如极紫外光源(EUV)。

即使是这种ArF 28nm光刻机和AMSL公司最先进的EUV5nm光刻机工艺有着天壤之别。

但是也能将国内的光刻水平提升到世界先进水平,完全可以满足常见的射频芯片、蓝牙芯片、功放芯片、电器的驱动芯片等绝大部分逻辑芯片的要求,以及大部分数字芯片的要求。

陈所长也听说三桑目前正在研究3nm芯片工艺的光刻机,也许很多人都以为很厉害,但是对于他这种业界的人自然知道其中的道道。

现在的7nm或5nm芯片,不是从前的含义,最准确的是牙膏厂的命名,只是它也学坏了。

芯片的纳米制程并不是真的几纳米,更多是一种更新迭代的说法。

上一代可能是4nm,下一代根据摩尔定律乘以根号7,差不多3nm。

以前的制程是指晶体管的宽度,现在则是晶体管的沟道宽度,就出了这种个位数的纳米制程。

就像目前三桑研究的3nm光刻机,由于极紫外光刻技术受到光电效应的影响,可能其实际线精度在十几纳米或20纳米。

不过这种纳米制程的芯片如果不用EUV光刻机的话,也是弄不了的。

虽然各厂家的命名方法各有所别,但也不是完全没有意义。

长光机电所也在为接下来的14nm工艺光刻机刻苦攻坚。

只是没有极紫外光源,想要做成这样的光刻机恐怕很难。

“唉~”

陈所长也知道这需要不长的时间,可能几年、几十年,甚至最坏的结果——失败。

但是还是要继续攻研技术,要不然以后只能被人牵着牛鼻子走啊。

就在陈所长满心忧愁的时候,一个电话响了起来,打断了他的思绪。

他接起来一听,顿时眼睛睁瞪如灯笼般大小,惊声道:

“什么?燧人科技的极紫外光源成功了?!”

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